近日 ,及生
中微公司华南总部研发及生产基地总体规划用地约 130 亩,产基本次封顶的地期一期项目占地约 50 亩 ,板级封装等新兴泛半导体装备赛道。封顶PECVD 等微观加工设备研发制造,广州公司投资约 10 亿元 ,